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中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站二期建设项目通过验收

【中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站二期建设项目通过验收】财联社2月20日电,从中国科学院获悉,近日,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站二期建设项目顺利通过总验收。真空互联实验站面向国家战略需求和科学前沿重大问题,开创一条变革性的技术路线,将材料生长、器件工艺、测试分析通过超高真空管道有机互联在一起,突破常规超洁净环境下,独立分散设备难以突破的材料本征特性、原子级精准调控、表/界面调控和异质集成、器件原位制造等局限,为国家战略材料和前沿材料领域研究提供重要建制化、体系化综合科研装置的支撑。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20230220A03KVY00?refer=cp_1026
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