在20世纪60年代和70年代,以PerkinElmer和GCA为代表的美国光刻机制造商主导了全球光刻机市场,几乎处于垄断地位。从80年代开始,日本的光刻机制造商逐步抢占全球市场份额。到了20世纪90年代中期,以尼康和佳能为代表的日本光刻机制造商占据了全球75%的市场份额,主导了全球光刻机市场。而此时,远在欧洲的一家名为ASML的荷兰公司正虎视眈眈地盯着日本的这两大光刻机巨头。此后ASML开始寻找和利用一切技术资源,不放过任何一个技术升级换代的机会。对竞争对手发起了一次又一次的冲击,并最终登上了光刻机领域的世界巅峰。
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