盛剑环境（603324.SH）：持续加大泛半导体制程附属设备相关领域研发投入

格隆汇5月19日丨有投资者向盛剑环境(603324.SH)提问：2022年公司泛半导体制程附属设备研发进展如何？

盛剑环境回复：2022年，公司持续加大泛半导体制程附属设备相关领域研发投入，完成燃烧+水洗机型的研发验证测试，填补了公司在集成电路领域燃烧水洗机型的空白；同步研发验证水洗+燃烧+水洗样机，填补了国产化机型的空白，并在光电显示（半导体显示）行业取得批量订单；在国际高难度制程的常压EPI领域，公司完成首台套设备验证通过，填补了国产化机型的空白；在核心部件国产化领域，首次获得国外厂商的核心部件替代维保服务订单，加快了国产设备替代步伐。此外，完成了火炬头自动生产线的规划设计与建设工作，在提升核心部件自产化率的同时，为后续进一步做好运维服务提供有力保障。