盛美上海（688082.SH）：热反应的ALD炉管首台去年已进入客户端，目前结果不错；Track设备已在客户端与光刻机进行对接等等

格隆汇6月2日丨盛美上海(688082.SH)于2023年5月参与分析师会议或公开的电话会议，问答环节中，就“公司热反应的ALD炉管，以及公司新推出的PECVD还有超临界清洗设备的情况备受市场关注，请问ALD和超临界二氧化碳清洗的最新进展如何？”，公司回复称，公司热反应的ALD炉管首台去年已经进入客户端，目前结果不错，各项技术数据均达到设计要求，并且能够非常接近甚至部分超过国际大厂的数据指标。总体来说，客户端对公司热反应的ALD产品性能比较满意。

CO2超临界清洗设备整体进展较为顺利，该设备公司具有独立IP，产品优点在于能极大节省CO2原料，预估节省量在40%以上。

Track设备已经在客户端与光刻机进行对接，公司希望年底左右能完成基本的工艺包括可靠性验证。

PECVD设备经过近期几个月的大量测试，结果令人满意，公司将继续和客户端进行紧密沟通，并且希望今年能够在两到三家客户处进行验证环节。