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北成新控丨哈默纳科Harmonic执行器在半导体CMP设备中的应用

SHA、FHA、RSF系列执行器是日本Harmonic公司的一款谐波减速机和伺服电机一体化的产品。HMA是大中空直驱力矩电机产品。

SHA系列执行器有6种尺寸可选,最大输出转矩为3419Nm,减速比范围11~161,单向定位精度≤30arcsec(1:80以上速比)。

FHA-C系列执行器4种尺寸可选,最大输出转矩达820Nm,减速比范围50~100,单向定位精度≤30arcsec。

RSF系列执行器4种尺寸可选,最大输出转矩达330Nm,减速比范围50~100,单向定位精度≤90arcsec。

HMA系列直驱电机5种尺寸可选,最大输出转矩33Nm,最高转速6000rpm,中空直径最大60mm,标配绝对值编码器单圈17位多圈计数16位。

北方某客户在CMP设备使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列产品:

1、 转台:负载220kg,直径1600mm,交流伺服电机+行星减速机无法满足安装空间和精度要求,选用了SHA65A产品,减速比为1:161,输出转矩为3419Nm,满足了晶片转台大惯量匹配及快速定位需求,中空结构可放置气管和线缆,扁平机身降低安装空间和设备重心;

2、 磨头:选用了RSF-32A产品,集成高分辨率编码器和1:50减速机,使输出端转速波动小,运行平稳,提高了研磨精度;

3、 清洗甩干:选用了HMAB12产品,最高输出转速4800rpm,中空法兰输出结构便于晶片吸取,大扭矩高惯量使甩干速度运行平稳。

4、 FHA-40C产品应用于清洗的提拉翻转机构,减速比为1:100,输出转矩为690Nm,小体积高功率密度降低安装空间需求。

驱动器选用了Copley公司的XEL-230-18,通过EtherCAT总线接入倍福控制器。

Harmonic执行器产品的应用,很好地满足了客户对于提高控制精度,高速定位,紧凑安装空间的需求。

Harmonic执行器在半导体CMP设备中的应用

北京北成新控伺服技术有限公司是集工业自动化产品的销售、系统设计、开发、服务于一体的高新技术公司。自2005年1月成立以来,公司一直秉承着用户至上,持续创新,锐意进取,稳健经营的理念,经过不断地发展,我们不仅能为客户提供技术先进、品质可靠、性能卓越的运动控制产品,更可凭借经验丰富的技术团队,提供专业的定制化解决方案。 本公司产品广泛应用于半导体、新能源、智能仓储、生物医药、高端装备制造等行业。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20230614A02A5E00?refer=cp_1026
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