外媒：荷兰ASML开始变卦了

众所周知，由于美方不断加码制裁，半导体产业的全球化运作再也无法像之前一样顺畅。美企想要把芯片产品出口给中国企业创造盈利，却由于种种管制无法进行。中企想要发展本土半导体产业链，又被美、日、荷达成的三方协定所扰乱。

在这样的情况下，国内对于芯片产品的国产化目标愈发明确，今年上半年，国产晶圆切割机、离子注入机相继实现国产化，光刻机也传出将要在今年下半年交付的消息。外媒表示荷兰ASML开始变卦了。

据了解，荷兰之所以答应美方的协定，很大一部分原因就是由于ASML的先进光刻机还离不开美国的半导体技术。比如，EUV光刻机的光源供应，就来自于美国的科技公司。离开美国企业的光源，连ASML也无法实现EUV光刻设备的量产。

加上美方通过修改规则的方式，一同管制了日本的半导体设备出口。如果荷兰方面不答应，在关键零部件的供应问题上，也会出现“卡脖子”的局面。但即便是如此，荷兰ASML仍旧保留了1980 Di一款光刻机的自由出货，该设备的单次曝光精度为38纳米，主要被用于生产28纳米以上的成熟制程芯片。

由此便不难看出，ASML其实并不想失去中国市场。在这样的情况之下，荷兰ASML开始变卦了，相继就光刻机设备的出货问题做出多次表态。

在最近的一次表态中，ASML表示自己正在争取更先进光刻机设备的出货，但至于最终能否成功交付，需要荷兰政府就当时的背景做出判断。而导致ASML态度发生转变的原因，主要来自于三方面：

第一，国产光刻机设备的替代速度加快。有消息指出，今年下半年国产28纳米光刻机就将完成交付，该设备是对标的ASML 2000系列的光刻机。如果成功交付，国产光刻机的性能就会反超现如今ASML供应的光刻机。

所以，ASML才会就先进光刻机设备的出货进行表态，称需要荷兰政府就当时的情况做出判断。说白了，无非就是担心国产光刻机设备的发布，会影响ASML之后在国内市场的布局。

第二，中企要求ASML回购芯片制造设备。长江存储目前已经表态， 如果ASML无法对已购设备进行售后服务以及零部件的供应，将要求ASML回购这批设备。ASML方面则回应称，无法承担长江存储的回购请求。

对此，有业内人士分析认为：若ASML真的拒绝提供有关设备的售后服务，荷兰的相关专利也会被忽视，进而全面加速光刻机的国产化。而一台光刻机再精密，也是由物镜、光源以及工作台三个部分组成的。中企若是想要拆解进行维修，也完全是合情合理的。

至于ASML的远程锁机，既然本身就不能够正常使用了，拆解一下研究研究，也不见得是一件坏事。所以，ASML既不愿意回购这批设备，又无法中企继续提供售后服务。最好的解决方案，就是争取更先进光刻机的出货，这次表态或许正是提前做出的铺垫。

第三，ASML的竞争对手尼康，宣布加快对中国市场的出货。在三方协定达成之后，日本就限制了7大类、23项半导体制造设备的出口。然而，尼康偏偏不信这个邪，前不久表示将要加大对于中国市场的出货数量，要将光刻机设备的出口数量提升至原来的三倍。

眼下这个阶段，ASML若是放弃了国内市场，可能就什么也捞不到了。所以，哪怕是顶着美方的压力，也要对部分浸润式DUV光刻设备进行自由出货。至于这部分设备中，是否包含了可以维修其他型号光刻设备的零部件还不得而知。

对于国内已购光刻机设备的使用，笔者还是抱着乐观态度的。不给用又不回购，不就等于逼迫中企去拆解设备吗？这一点ASML不可能考虑不到，所以，ASML到最后肯定会有其他的解决方案，来解决中企已购设备的使用问题。对此，你又是怎么看的呢？欢迎大家留言、讨论！