SEMICON China 2024即将于3月20-22日在上海新国际博览中心召开,达仕科技核心团队将携Laser激光切割设备、TCB热压合覆晶键合机隆重亮相本次展会,达仕科技诚邀您莅临展位——T3169。
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产品信息
Laser激光切割设备
激光无缝切割采用达仕专利的光源取代传统刀片切割,实现无耗材无水及更高效率和精度的生产切割道几乎为零的产品(对于不同厚度晶圆,切割速度约是传统刀切的5倍以上
激光隐形切割设备-采用红外光源,SLM多焦点技术和RTF的实时焦点跟随技术,可完成硅、碳化硅、光学玻璃等材料产品切割。
激光开槽设备-采用皮秒光源和SLM多焦点技术,减少热影响区,可完成Low-k晶圆、LCD driver晶圆、碳化硅、氮化镓等产品开槽。
TCB热压合覆晶键合机
达仕科技热压键合TCB设备,,国内首家已经量产的TCB设备,拥有COS和COW两种量产机型。设备采用模块化设计理念,可以兼容实现FC, CUF-TCB,NCP-TCB,NCF-TCB,COWOS等不同热压键合工艺。核心指标达到:多键合头,精度:±1.5um、Chip size:0.5x0.5-110x110(mm)等等。
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邀请函
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