SK海力士开发出业界首个氖气回收技术

SK海力士宣布，与韩国特种气体公司TEMC合作开发出半导体行业首个氖气回收技术。

氖气是稀有气体之一，也是半导体光刻工艺所必需的准分子激光气体的主要成分。用作激光光源时具有不发生化学分解或变化的特点。这意味着氖一旦使用，经过分离和提纯过程去除杂质后可以回收利用。

针对这一点，SK海力士和TEMC成功开发了氖气回收技术。这些公司将氖气收集在收集罐中，否则氖气会在光刻过程后通过洗涤器排放到空气中。然后，通过TEMC的气体处理工艺，氖气被选择性地分离和纯化。

纯化后的氖气将回收给SK海力士，进一步用于半导体制造工艺。目前，氖气回收率为72.7%。SK海力士计划不断提高净化率，将氖气回收率提高至77%。

在半导体工厂应用氖气回收技术，预计每年可减少约400亿韩元的氖气采购成本。该技术预计每年还可减少氖气生产过程中的温室气体排放约12000吨二氧化碳当量。