氩离子抛光应用实例

金鉴提供页岩样品氩离子抛光、切割服务（离子抛光法CP）+高分辨率场发射扫描电镜SEM观察。金鉴实验室氩离子抛光（CP法抛光）制样，可以获得平滑的截面，而不会对样品造成机械损害。以下为案例展示。

案例展示

平面刻蚀抛光功能

左图为离子研磨前，右图为研磨后

通过离子研磨可以去除机械研磨抛光对样品产生的应力损伤，从右图中可以清楚看到两种不同铜的结构。

平面刻蚀抛光功能

通过控制平面研磨时间，可以获得更多样品的细节信息

Package FA

Results of experiment

SEM Parameter：

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 600X Imaging Mode: back-scattered electron

Package：FA ，Cooling Stage

SEM Parameter：

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 2,500X Imaging Mode: back-scattered electron

Package：FA ，Cooling Stage

SEM Parameter：

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 5,000X Imaging Mode: back-scattered electron

Package：FA ，Cooling Stage

SEM Parameter：

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 10,000X Imaging Mode: back-scattered electron

Package：FA；Cooling Stage

PCB Board：Cooling Stage

Die package application

Results

High Mag

PCB with OSP layer

Low Mag

PCB with OSP layer

High Mag

TSV

Central TSV

Center TSV near middle of length

Low K Material

分立器件

High Mag

High Mag

Cu wire with Pdcoating

2.5D Interposer

GatanResults Polished Width at ROI ~ 1000um

High Mag

BSE Image “Left Via”

       SE Image Region 9                BSE Image Region #9

BSE Image Region #10

BSE Image “Right Via”

金属镀层

镀锌钢板

镀锌钢板-High Mag

金鉴实验室是LED领域中技术能力最全面、知名度最高的第三方检测机构之一，围绕高质量LED产品的诞生，从外延片生产、芯片制作、器件封装到LED驱动电源、灯具等产品应用环节，从LED原材料、研发和生产工艺角度，为客户提供以失效分析为核心，以材料表征、参数测试、可靠性验证、来料检验和工艺管控为辅的一站式LED行业解决方案。