万业企业旗下凯世通项目获上海市科技进步奖一等奖

10月23日，2023年度上海市科学技术奖励大会在上海展览中心举行，表彰为国家、为上海科技事业和现代化建设作出突出贡献的科技工作者。万业企业（600641.SH）旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）联合重点应用企业共同完成的“离子注入机技术与应用产业化”项目荣获上海市科技进步奖一等奖。凯世通副总经理、首席技术官夏世伟作为项目第一完成人出席大会并登台领奖。

凯世通表示，此次获奖项目所研发的低能大束流离子注入机系列设备是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的核心设备，设备性能与稳定性表现卓越，实现了集成电路重大装备产业化突破。

针对离子注入实际生产过程中亟需突破的关键工程技术问题，凯世通创新构建了包括基础研究和应用技术在内的“通用平台+关键技术模块+系统集成+应用技术”完整技术体系，形成了一系列高价值的自主知识产权成果，包括成功解决了芯片制造中低能量条件下的超大剂量注入问题，降低了制造成本；完成了颗粒污染源头控制技术，大幅提高了良率，取得重要工艺突破等。

目前，凯世通已打造出多款离子注入机标杆项目，在国内主流12英寸晶圆厂实现了产业化并收获了批量重复订单。随着产业化进程加快，凯世通持续提升产能，增强服务客户能力。

夏世伟表示，此次获奖是凯世通研发团队辛苦付出、持续拼搏的结果，凯世通坚持正向设计、创新突破，紧密结合世界前沿科技与产业需求，持续创新推动离子注入机原创性、引领性科技攻关，不断强化技术优势，持续为客户提供性能卓越、稳定可靠、降本增效的先进设备和工艺解决方案，努力服务国家集成电路产业高质量发展。

资料显示，上海市科学技术奖由上海市人民政府统一设立，是上海市深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，服务高水平科技自立自强，加大对科学规律的第一发现者、技术发明的第一创造者、创新产业的第一开拓者、创新理念的第一实践者的奖励。