北方华创：全新12英寸PECVD设备正式交付！前三季度营收同比增加39.51%！

11月1日，北方华创发文称，近日其自主研发的高均匀性、大产能12英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备——Cygnus系列，已成功交付客户。这一里程碑标志着北方华创在半导体设备制造领域的又一重大突破，进一步巩固了其在薄膜沉积技术的领先地位。

Cygnus系列PECVD设备主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜，满足逻辑、存储和先进封装对钝化层、隔离层、抗反射层、刻蚀停止层等多样化的应用需求。该设备采用多站位多步沉积工艺方式，实现了高均匀性、高产能，工艺一致性更好、可靠性更高，不仅满足现有逻辑、存储领域对介质薄膜生长的工艺要求，同时解决了大翘曲硅片的传输和工艺均匀性难题，可适用于2.5D/3D三维器件工艺的介质薄膜生长。

北方华创在PECVD设备领域深耕多年，自2012年推出EPEE 550系列PECVD设备以来，已在客户端销售近千台，并在2019年推出EPEE i200/800系列PECVD设备，为近百家客户提供介质薄膜生长解决方案。2022年，公司推出的Lyra系列12英寸介质薄膜生长PECVD设备，以其优良的工艺结果和设备的高稳定性赢得了多家主流客户的认可。

10月30日，北方华创发布2024年第三季度报告称，报告期内营业收入8,017,863,754.89元，同比增加30.12%；归属于上市公司股东的净利润1,681,917,060.31元，同比增加55.02%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1,626,040,068.28元，同比增加57.72%。

北方华创前三季度营业收入20,352,770,959.17元，同比增加39.51%；归属于上市公司股东的净利润4,462,521,361.56元，同比增加54.72%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润4,265,942,267.45元，同比增加61.58%。

北方华创表示，前三季度营业收入同比增加主要原因是公司电子工艺装备收入同比增长46.96%，使得整体营业收入增加；净利润同比增加主要原因是公司电子工艺装备收入增长较快，成本费用率下降；扣非净利润同比增加主要原因是公司电子工艺装备收入增长较快，成本费用率下降。