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西北首条8英寸芯片线正式投产

12月5日,据陕西建工消息,近日由陕建七建集团承建的8英寸高性能特色工艺半导体芯片生产线项目正式通线投产,这是我国在西北地区布局建设的首条8英寸高性能特色工艺半导体生产线。该项目投产,标志着陕西在高端半导体制造领域取得重大突破,将为我国功率半导体国产化替代注入强劲动能。

项目位于西安高新综合保税区内,总建筑面积约17.39万平方米,由生产厂房、生产调试厂房、综合动力站、特气站、硅烷站及各类库房等17栋单体组成,项目建成后将主要服务于技术密集型的半导体产业,对于提升陕西省半导体产业的竞争力和聚集力具有重要意义。

施工中,为了满足电子无尘洁净厂房的生产要求,此次建设的厂房为高洁净度生产厂房,核心生产区域可达“十级”洁净度(ISO 1级)洁净度。所谓“十级(ISO 1级)”洁净度,即代表空气粒子浓度0.1μm浓度≤10个/m³,0.2μm浓度≤2个/m³。这是洁净度的最高等级,比医院最高等级手术室对洁净度的要求提高了100倍。同时,项目厂房建设采用了华夫板结构面积达14000余平方米,高低偏差严格控制在2毫米内,以确保生产设备的安装精度。

在项目建设中,为了满足后期半导体设备,能够更便捷地进行移动与更换,项目房盖钢桁架跨度较大,单跨跨度达到43.2米和46.8米,整榀桁架重达140吨,项目团队采取了有效的安全技术措施,将上楼厂房划分为4个施工段,每个施工段配合2台50吨汽车吊进行上楼面拼装,大大提高了施工效率,共计4000多吨的钢结构,仅用一个月就完成了施工。

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