环境微振动控制至关重要

一、微振动对精密制造的影响机制

在现代精密制造领域，环境微振动已成为制约工艺精度的关键因素。特别是在半导体制造、精密测量等高端产业中，设备对工作环境稳定性的要求已达到前所未有的高度。

振动对制造过程的影响主要体现在三个方面：首先，直接影响设备定位精度，导致加工或测量偏差；其次，降低设备分辨率，影响成像质量；最后，长期振动环境会加速设备部件磨损，缩短设备使用寿命。研究表明，当振动幅度超过10纳米时，就足以对先进制程的半导体设备产生显著影响。

二、减振器的特点

空气弹簧减振器

刚度可调,不会因荷载误差影响减振效果；隔振率可达99%，对基础振动影响设备，效果明显，适合反向隔振现场安装

主动控制隔振器

我们自主研发的主动控制隔振器通过前馈+反馈控制具备极强的隔振性能，极静环境指标达到VC-L(0.024um/s)，可进行定制。

随着制造精度要求的不断提高，防微振技术将持续创新和发展，为高端制造业提供更加可靠的环境保障。在实际应用中，需要根据具体需求选择合适的技术方案，并通过专业的设计和实施，确保达到预期的振动控制效果。