光刻机是制造集成电路的核心设备,长期被荷兰ASML公司垄断,并且高端产品对中国禁运,成为阻碍中国集成电路发展的重要障碍。
而近年来,随着国家的大力支持以及国内市场需求的快速增长,国产半导体产业发展迅猛,而在关键的国产半导体设备领域也有了不小的进步。
其中,作为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司,华卓精科成功推出了第一台满足65nm光刻机需求的双工件台样机,打破了ASML公司在工件台上的技术垄断。
但是,从市场的角度来看,光刻机双工件台的客户主要还是光刻机整机厂商。而目前近90%的光刻机市场都被ASML所占据。
但是只要中国有耐心,够坚持,补足高端光刻机的技术短板。在5年内,就有机会造出领先美日仅次荷兰的高端光刻机,在10年~15年内能大成。
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