超大微纳传感器加工实验室在湖南建成

湖南先进传感与信息技术创新研究院是湖南省人民政府支持，投资1亿元，由北京大学与湘潭大学合作共建，设立在湘潭大学的新型研发平台。

该平台主要依托北京大学团队在碳基集成电路技术领域的先导性技术优势和体系完整的原创性技术，来建设碳基纳米器件和新型传感器研究的国家创新中心和国内一流创新平台。基于平台，也有望研发出属于我国自己的“中国芯”。

目前，其核心微纳加工实验室已落成。该核心实验室为包括百级、千级、万级在内的超净室，也是中南地区先进的研究型微纳加工实验室，面积达1400平米，拥有价值两千余万元的微纳加工装备。

俞慧友 摄 

摘编自：科技日报