3年半完成28纳米芯片量产 他为中国“芯”正名

我国是全球最大的电子产品制造国及大众消费市场，但长期以来，集成电路排在我国进口额的前三位。一张硅晶片上可以承载上千甚至上万个芯片，在一个个芯片上，遍布了数亿个晶体管。制造一个芯片，就相当于用这些晶体管在指甲盖大小的面积上建造一座城市，难度可想而知。

田明是华虹集团华力集成电路制造有限公司研发副总监，高级工程师。在芯片制造业已有20多年的工作经验。田明带领团队完成了40纳米低功耗平台的研发量产工作，并通过汽车电子等级认证，当前产品量产良率超过97%，达到业界一流水平。此后，他又带领团队，与世界知名设计公司联发科合作开发28纳米工艺通讯类产品，良率达到97%的业界先进水平，并按计划顺利实现规模量产。

业界众所周知，28纳米工艺开发难度大，对华虹集团乃至中国半导体业的技术战略布局意义重大。28纳米芯片主要应用于手机、高清视频、汽车电子产品、wifi通讯类等各种快消类商品。如果要获得市场，关键就在于进行28纳米芯片的量产，并提高产品的合格率。

芯片的制作过程需要经过1000多道复杂的工艺，而往往是一步错就全盘颠覆。集成电路的发展日新月异，每隔两到三年，技术的发展就更新换代。芯片工程师们就是在与时间赛跑。田明需要凭借自己在行业内多年积累的经验，从这1000多道工序中快速定位问题所在。为保证芯片的量产，田明带领团队采用了“光刻智造法”。这套方法通过建立智能模型，利用大数据的分析，大大提升了光刻的自动化程度，为28纳米芯片的量产扫清了障碍。

芯片研发之路充满艰辛，踏入这个赛道的攻坚者们需要坚持不懈地进行技术突破。生产线要保持24小时运作，因此相关技术人员都需要24小时待命。即便在深夜，技术人员被临时召回到厂里异常情况的事情也是家常便饭。

在田明眼中这些付出和压力都是自己动力的源泉，“你自己付出的越多，你一开始承受的压力越大，当你真的把东西做出来的时候，你获得的喜悦其实是成正比的。就像皮球你把它压到水池里面，你压得越用力气，你手一松的时候，它就反弹得越高，所以一开始越辛苦，压力越大。”

2018年12月11日，上海华力28纳米工艺成功进入量产，对田明来说，这个日子来之不易，因为他和团队一起，用3年半的时间，完成了业界需要5年完成的工作。田明说：“天行健君子以自强不息，做中国芯片行业必须要有自强不息的精神。在先进制程上面，我们也立下雄心壮志，我们一定要追赶业界的先进水平。”

(来源：《上海工匠》项目组 视频编辑：祝闻豪)