兴发集团等研发的“电子级磷酸及蚀刻液”技术获国家科学技术进步二等奖

本报记者 李万晨曦

1月10日，国家科学技术奖励大会在北京隆重举行，兴发集团与其他单位联合研究开发的“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖。

兴发集团为国内磷化工行业龙头企业，经过多年发展，已形成了“资源能源为基础、精细化工为主导、关联产业相配套”的产业格局，公司主营产品包括磷矿石、黄磷及精细磷酸盐、磷铵、草甘膦、有机硅及电子化学品等。公司是国内第一家基于自有技术量产电子级磷酸的企业，目前拥有电子级磷酸设计产能3万吨/年，具体包括IC级、TFT面板级和高纯食品级等三种级别产品，实现了我国磷化工业由工业级、食品级向超高纯电子级的重大跨越。

超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液是芯片制造行业不可替代的关键电子化学品，该技术由兴发集团作为第一完成单位与控股子公司兴福电子、中科院过程工程研究所、武汉工程大学等其他单位联合研究开发，经过近10年持续研究攻关，开发掌握了芯片用超高纯电子级磷酸和高选择性蚀刻液生产关键技术，突破了美日韩等少数国家化工企业长期垄断和技术封锁，为我国芯片制造产业高质量发展创造了良好条件。

据了解，该项目鉴定委员会专家一致认为该项目整体技术达到了国际先进水平，其中超高纯电子级磷酸中砷、锑等杂质的控制技术居国际领先水平。依托该技术，兴发集团生产的电子级磷酸已替代日本厂商，成为国际第二大芯片制造企业新加坡“格罗方德”的最大供应商；在国内最大芯片制造企业“中芯国际”和上海华宏力等半导体公司的进口替代率大幅提升。

兴发集团半年报显示，公司控股子公司兴福电子现拥有3万吨/年电子级磷酸，产品国内市占率超过70%，并参与制定了电子级磷酸国家标准。

国家科学技术进步奖主要授予在技术研究、技术开发、技术创新、推广应用先进科学技术成果、促进高新技术产业化，以及完成重大科学技术工程、计划等过程中做出创造性贡献的中国公民和组织，是我国科技界的至高荣誉。

（编辑 白宝玉）