中微公司董事长：正开发新一代刻蚀机，并取得了初步进展

4月17日，中微公司启动2019年度网上业绩说明会，21世纪经济报道对此次说明会进行了全程直播。

2019年，中微公司实现营业收入19.47亿元，同比增长18.77%，归母净利润实现1.89亿元，同比增长107.51%。

中微公司是首批科创板上市企业之一，上市之后颇受资本追捧。

截至目前，总市值逾800亿元，居科创板第三位。

集成电路设备国产化日益明显

对于近年来的高速增长，中微公司董事长、总经理尹志尧表示，主要有三个因素。

第一，公司主打产品等离子体刻蚀机的市场在迅速增长。而公司的等离体刻蚀设备系列不断完善，公司具有CCP三代的电容性等离子体刻蚀机，包括双台反应器的机型和单台反应器的机型。公司还开发了ICP电感性等离子体刻蚀的单台反应器的机型，并正在开发双台机。由于一个个的设备产品不断进入市场，使刻蚀机的销售有很快的成长。

第二，随着照明产业的发展，MOCVD设备的市场需求在2017、2018年达到历史新高。公司开发的MOCVD设备实现技术突破，达到国际先进水平，而且加工结果稳定、输出量高、成本低，逐步成为国内外氮化镓基蓝光LED器件制造的首选设备。连续获得了大批量订单。

第三，国内集成电路制造产业大发展，不断有大量的资金投入，对集成电路前段设备的需求量迅速提高。国内集成电路前段市场到2019年已达到全球市场的20%左右。设备国产化条件逐渐成熟、设备国产化趋势日益明显。设备市场环境是公司收入快速增长的前提。

不过，尹志尧指出，半导体设备产业从来就是一个波动极大的产业，市场规模高可以一年加倍，低可以一年减半。公司必须未雨绸缪，扩展设备的种类和覆盖不同的市场，以减少某一设备市场的波动对公司业绩的影响。

开发新一代刻蚀机

尹志尧透露，公司CCP刻蚀设备产品有相当的竞争优势，批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线。此外，在先进工艺方面，公司成功取得5纳米逻辑器件、64层3D NAND闪存器件制造厂的重复订单。

虽然中微公司等离子体刻蚀设备已具备相当的竞争力，但在全球市场的占有率仍然偏低。

尹志尧对此回应称，和国际领先的设备公司的产品相比，中微公司产品的技术水平和综合性能，在大多数工艺过程的应用上处于同样的水平。所以在国内的先进的芯片生产线上已经有相当的市场占有率。但在国外不同地区的客户，接受国产设备的门槛很高，还需要耐心和时间，逐步扩大市场的准入和提高市占率。

“对于一些最高端的刻蚀应用，如存储器件的极高深宽比介质刻蚀和逻辑器件的大马士革刻蚀等应用上，中微的刻蚀机还有不足的地方，还需进一步技术创新和设备的升级。我们正在开发新一代的刻蚀机，以向客户提供更好刻蚀设备。”尹志尧说。

尹志尧进一步透露，公司根据逻辑器件“All-in-One大马士革刻蚀”需要，和存储器件极高深宽比刻蚀的需要，开发下一代设备产品，并取得了初步的进展；开发的有更高输出量和更低成本的双台反应器的新设备，也取得了很好的进展；开发可用于Mini-LED生产的新型MOCVD设备产品，准备在客户生产线进行验证。

密切关注国际形势变化

今年一季度，国内外新冠疫情严重，中微公司是否受到影响？

据了解，中微公司在2月下旬生产线已完全恢复，各方面生产经营情况都已走入正轨。在设备按计划运出方面，除武汉地区客户有些推迟，其他地区情况都按计划进行。

尹志尧介绍，中微有400多家材料和零部件供应厂商，管理这个产业链的确是一个很有挑战的任务。疫情期间，公司一直紧密跟踪供应厂商的供货情况，有问题及时解决，保持了100%的材料按时供应率和100%设备的按时运出率。

“有极少数供应商提供的极个别零部件，由于疫情影响，产能调整，到今年中期有一定供货风险。我们正和这几家供应厂商及时沟通，要求零部件按时到位。”

除了疫情影响，近年来国际贸易和科技方面的摩擦不断，集成电路作为全球产业链分工明显的行业，难免受到波及。

对此，尹志尧表示，中微从成立开始就严格遵守中国和各相关国家地区的进出口和知识产权等法律法规，一直保持与相关国家和地区政府部门的及时沟通。到目前为止，中微的业务尚未受到实质性的影响。

其认为，如果全球贸易和科技的摩擦继续加剧，国际化的高科技公司都会受到更大影响。中微正密切关注国际形势的变化，对潜在的不利因素和负面影响持续进行评估，并制定相应的防范预案。

展望未来，尹志尧说，中微公司计划继续通过有机生长，不断开发新的产品，不断提高市场占有率；同时，公司将在适当时机，通过投资、并购等外延式生长途径，扩大产品和市场覆盖，力争在未来十年内，发展成为在规模上和市场占有率上成为国际一流的半导体设备公司。