超精密加工中的FTS快速刀具伺服系统

精密、超精密加工技术在我国的应用已不再局限于航空航天或其他尖端应用等少数部门，它已扩展到日常生活与应用中的许多领域，应用规模也有很大的增长。超精密加工是实现纳米加工的最有效方式，其中压电快速刀具伺服系统是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位台带动车刀或其他刀具微纳米级进给，在工件表面进行加工。此外也可加工各种回转表面，如内圆柱面、内外圆锥面，螺纹、沟槽、端面和成型面等。

芯明天快速刀具定位台是为超精密加工而研发设计的，利用自身所具有的高响应频率、高刚度、高精度等特性，驱动刀具在运动方向快速实现满行程118微米微进给，能够实现复杂面形工件或结构的精密加工，特别是适合刀具微进给、误差补偿、FTS微位移工作台等应用。

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技术参数

型号：P93.X100

行程范围（0~120V）：95μm

行程范围（0~150V）：118μm

传感器：CAP/LVDT

闭/开环分辨率：15/20/10nm

闭环线性度：0.1/0.15%F.S.

闭环重复定位精度：0.03/0.05%F.S.

俯仰/偏航/滚动：

推/拉力：300/25N

运动方向刚度：3N/μm

空载谐振频率：0.2kHz

闭/开环空载阶跃时间：30/7ms

最大承载：20kg

静电容量：15μF

材质：钢

重量：3500g

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驱动控制

E01.D1系列压电控制器具有输出高功率、高电流等特点，非常适于驱动电容较大的快速刀具定位台。

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