半导体阀块内孔机器人打磨，效果超乎想象！

伴随着芯片的集成度越来越高，半导体制造的先进程度也逐渐提升。阀块作为半导体制造设备的一个重要零部件，其精度要求也随着半导体制造要求的提高而提升，工艺加工难度也越大。

图源pixbay

以阀块内孔孔壁和孔底平面打磨为例，阀块内孔孔径较小，对刀具和磨料的要求较高，加工难度大。针对阀门内孔打磨过程中的孔径小、毛刺多、碎屑易造成二次损伤等问题，罗庚机器人设计并制造了电子磁力浮动打磨机站，最终打磨后成品的表面光洁度Ra≤0.01，打磨完成率（按实际打磨面积与计划打磨面积比）达到87%以上，获得了客户的高度认可。

罗庚机器人阀块内孔去毛刺机站模型

机站亮点

1. 微秒级别响应和微米级别精度

该机站采用电子磁力浮动轴超精度控制，配合视觉检测系统，能够在微秒内实时响应位置和力度变化，进行微米级别精度的补偿调整。

2. 多向自由浮动

该机站的电主轴能够在径向和轴向上浮动，实现更复杂的研磨运动轨迹，研磨更均匀。

3. 卓越的打磨效果

最终成品的表面光洁度Ra≤0.01，打磨完成率（按实际打磨面积与计划打磨面积比）达到87%以上。