上游半导体设备。
1.蚀刻胶;北方华创,中微公司;
2.光刻胶,上威集团,华卓精科;
3.PVD;北方华创;
4.CVD;北方华创,中微公司;
5.清洗机;北方华创,志纯科技,盛美半导体。
6.离子注入;中科信,万业企业;
7.炉管设备;北方华创,晶盛机电;
8.检测设备;精测电子,华峰测控,长川科技;
上游半导体材料
1.大硅片;沪硅产业,中环股份;
2.靶材;江丰电子,隆华科技;
3.高纯试剂;上海新阳,江化微,巨化股份,晶瑞股份。
4.特种气体;雅克科技,南大光电。
5.抛光材料;安集科技,鼎龙股份。
6.光刻胶;南大光电,飞凯材料,容大感光,晶瑞股份;
7.中游代工;华虹半导体,粤芯半导体,华润微电子。
8.下游代工;长电科技,通富微电,华天科技,晶方科技,深科技。
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