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SK海力士拟打造全自动化半导体厂!

SK海力士(SK Hynix)为打造全自动化的半导体工厂,表示提升设备业者的软件技术极为重要,同时强调需在预测解决方案方面进行合作。Theelec报导,SK海力士TL郑有仁(音译)在SEMICON Korea会议中指出,SK海力士300mm晶圆厂的自动化位在第3~4阶段。为迈向第5阶段,需与设备业、学界等进行合作。

自动化工程分成1~5个阶段,数字愈高自动化水平愈高,第5阶段为全自动化。郑有仁透露,大多数最新的半导体厂正在打造3~4阶段自动化作业。可自动完成多项作业,无需人员监控。在良率和生产效率方面,与人类表现相似。

其中,「预测」是实现智能工厂的最终关卡。以精准预测为基础,可提升生产效率、良率,减少费用等。郑有仁指出,在半导体自动化工程中,通过AI、数字孪生(Digital Twin)技术的预测解决方案将变得更为重要,可解决半导体自动化工程中出现的各种问题,如Cue-time排程、OHT(OverHead Transport)路径设置。

Cue-time是指规定每项工程的开始和结束时间,若超出时间限制,将影响良率及质量表现,因此Cue-time排程极为重要。为达自动化,SK海力士最近正在利用AI进行研究,但尚未得到令人满意的结果。OHT路径设定则是将晶圆按照工艺顺序,自动运送到设备室,SK海力士目前正在利用数字孪生开发自动化技术,并推进模拟开发作业,致力于提高预测精准度。

为迈向智能厂房第5阶段,在优化算法的同时,预测精确度也至关重要。郑有仁表示,为准确预测工作时间和路径,需提高半导体设备的软硬件技术。SK海力士将通过与业界及学界的合作,在智能工厂第5阶段的良率和生产性方面,达到预期目标。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20210223A0APMM00?refer=cp_1026
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