芯片制造关键设备取得重大突破：离子注入机全谱系产品实现国产化

综合媒体17日报道，中国芯片制造关键设备取得重大突破，实现离子注入机全谱系产品国产化。

报道援引中国电子科技集团有限公司17日消息称，该集团旗下装备子集团攻克系列"卡脖子"技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为中国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

据介绍，离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。

装备子集团相关负责人表示，下一步，企业将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加速研发适用于更先进工艺节点的离子注入机并积极推动产业化。