光刻机作为芯片制造最核心的设备,如果没有光刻机,芯片制造就是纸上谈兵。缺乏先进光刻机就是目前大陆芯片制造发展面临最大的挑战,此前光刻机采购也屡屡受阻。
不过,全球光刻机巨头阿斯麦ASML全球副总裁、中国区总裁沈波近日接受采访时表示,对中国出口集成电路光刻机持开放态度,在法律框架下全力支持。同时明确表明,目前ASML除了EUV(极紫外线)光刻机无法对中国客户供货外,其他产品都可以正常供货。
目前ASML占据全球80%的光刻机市场,毋庸置疑的霸主地位。而ASML在中国装机量已经接近1000台,中国市场占据了ASML全球30%的出货量,也是一个很大的市场。尤其是现在国内芯片行业快速发展进步,对于光刻机的需求也将越来越大,中国市场对于ASML来说会越发重要。
此前大陆晶圆代工龙头中芯国际向ASML预订了大量DUV(深紫外光)光刻机,总价值近12亿美元。如果沈波所言属实,那就意味着DUV光刻机不受美国制裁影响能够正常发货,那么中芯国际在深圳、上海等地的扩产计划就能够顺利展开,从而获得更好的发展机会。
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