EUV光刻机能否引进中国工厂，海力士成突破口？事情没那么简单

文/有鱼 审核/张子扬 校正/知秋

EUV光刻机能否引进中国，海力士成为“突破口”？事情没有那么简单

华为事件和半导体行业的“芯片荒”，让我国深刻认识到掌握芯片制造技术的重要性。

而在芯片生产制造环节，光刻机是不可或缺的存在。目前，在全球光刻机尤其是EUV光刻机领域，荷兰ASML公司已经形成垄断。

据悉，荷兰ASML公司是世界上规模最大、技术最先进的光刻机制造商，并且在EUV光刻机领域，ASML是唯一的玩家。

EUV光刻机无法供货中国企业；

但遗憾的是，EUV光刻机是中国企业花钱也买不到的存在。早在2018年，中芯国际就斥巨资抢购一台EUV光刻机，为了尽早拿到货，中芯国际一次性付清了全款（1.2亿美元）。

按照计划，荷兰ASML的这台EUV光刻机将在2019年为中芯国际送货上门，但直到现在中芯国际也没能拿到货。

起初，ASML公司还以各种理由遮掩，但在今年11月上海进博会上，ASML中国区总裁沈波摊牌了，公司其它产品都可以对中国客户供货，唯独EUV光刻机不行。

而ASML公司不能为中国企业提供EUV光刻机的原因也不难猜测，ASML虽然是光刻机领域的龙头，但实际上它就相当于一个“组装厂”，其生产的光刻机有90%的部件都需要依靠进口，或其它合作伙伴提供。

不仅是零部件，ASML公司在制造EUV光刻机过程中，所使用的技术也来自全球各地，其中最核心的极紫外光源技术来自美国企业。

另外，ASML公司的第一大股东、第二大股东都是美国企业。在这样的情况下，中国企业还能否获得EUV光刻机？

SK海力士有望成为“突破口”

日前韩国芯片巨头SK海力士对EUV光刻机的供应表态，让SK海力士有望成为我国获得EUV光刻机的突破口。

据了解，SK海力士虽然是一家韩国企业，但在江苏无锡建设了一座半导体工厂，在全球“芯片荒”迟迟没有缓解迹象的背景下，为了进一步提高生产效率，SK海力士掌门人李锡熙表示，将尽全力争取将EUV光刻机引入中国工厂。

此前，SK海力士曾宣布，将在未来5年斥资43亿美元从ASML公司购买EUV光刻机，而计划引入无锡工厂的EUV光刻机，将用于生产10nm的DRAM芯片。

据悉，SK海力士无锡工厂生产的DRAM内存芯片，将占其总产量的一半，占全球产量的15%。

随着智能设备对芯片的要求越来越高，SK海力士想要在市场上保持竞争优势，就必须引进高端EUV光刻机提升芯片的制程工艺，否则将在于三星、美光的竞争中处于劣势。

由此可见，SK海力士无锡工厂的设备升级十分重要。但SK海力士想要将EUV光刻机引入中国市场真有那么容易？答案自然是否定的。

美方反对EUV光刻机进入中国；

根据新浪科技11月26日的报道，SK海力士试图在无锡工厂引进EUV光刻机的计划可能面临搁浅。

而该计划搁浅的原因想必不少读者已经猜到了，因为美方反对EUV光刻机这类先进设备进入中国大陆市场。

美方多次出售阻拦ASML公司的EUV光刻机进入中国市场，实在让人好奇美方为何对这件事如此执着，甚至可以说尤为忌惮呢？

其实，这背后的原因并不难猜，近些年在没有EUV光刻机的情况下，中国芯片产业都迎来了蓬勃发展，一旦中国厂商掌握了EUV光刻机这种设备，必然会大大增强中国的科技水平，因此美方干脆从源头扼杀这种可能。