国林科技：公司正在进行半导体臭氧清洗设备样机测试

集微网消息 1月14日，国林科技在投资者互动平台表示，目前公司正在进行半导体臭氧清洗设备样机测试；新疆项目正处在设备调试和建设项目单体验收阶段，公司正在全力推进项目进展，预计将于上半年投产。

对于公司进入半导体清洗领域，国林科技认为是臭氧设备应用领域的延伸。公司专业从事臭氧产生机理研究，公司前期的应用领域比如市政自来水、工业废水、烟气脱硝等属于工业领域，而半导体清洗属于是新兴领域、细分领域，半导体清洗设备的核心是臭氧清洗系统包括高浓度臭氧水机和高浓度臭氧清洗机，技术核心仍是臭氧。

国林科技强调：“公司在约五六年前接触到半导体专用臭氧设备，公司认为在未来是一个比较好的发展契机，所以当时就开始了研发的技术积累和铺垫，致力于实现进口替代。”

此前其还称：“随着近年来半导体行业的快速发展，国产化率将逐步提高，目前公司已掌握了半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术。”

目前，全球半导体清洗设备的市场规模约为30亿美元，国内大约为7-9亿美元，每年的复合增长率近30%。目前整个半导体的清洗设备高端市场主要是被日美韩等国的企业瓜分，国内半导体厂商占比不到5%，而国内这些厂商的半导体清洗设备的核心设备——“高浓度臭氧发生器”市场主要由美国MKS及德国安索罗斯等国外厂商占据，MKS去年在国内的销售额约为17亿元。未来半导体清洗设备市场以及整个半导体清洗行业市场空间是非常大的。

国林科技还表示：“公司目前对标MKS公司，主要做半导体清洗设备的核心部分臭氧清洗设备，未来希望能够做整套半导体清洗设备，打造自己独立的品牌，打破国外垄断，做中国自己的半导体清洗系统。除半导体清洗设备外，公司也积极推进在泛半导体行业的布局，公司相信在明年上半年会有实质性的进展。公司跟很多企业都有过接触，目前正积极与相关企业进行交流和联系。未来公司将根据实际情况制定相应的战略规划。”（校对/日新）