美国又想害中国芯片业 连中档的DUV光刻机都施压荷兰不让出售

运营商财经 康钊/文

根据外媒报道，荷兰外贸与发展合作大臣莉谢·施赖纳马赫尔表示，荷兰正与美国就关于向中国出口光刻机的新限制进行谈判，美国希望荷兰光刻机巨头ASML公司不向中国出售DUV光刻机，这一招非常狠毒。

美国已经逼迫荷兰ASML公司不向中国出售EUV光刻机了。早在2018年，当时的媒体已经报道，中国芯片加工企业中芯国际向全球最大的芯片设备制造商——荷兰ASML订购了首台最先 进的EUV光刻机，价值1.2亿美元。当时中芯国际花了血本，因为这一台光刻机是中芯国际2017年去年全部净利润。

ASML发言人当时对媒体表示，该企业对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁。而且，向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

不过，这台计划于2019年前交付的光刻机都过去4年多了，也没交付。

美国虽然已经成功逼迫ASML公司不卖给中芯国际EUV光刻机，但还想得寸进尺，想通过荷兰主管部门给ASML施压，逼迫ASML公司不卖给中芯国际DUV光刻机。

DUV光刻机比EUV光刻机技术性能差些，但也非常重要。DUV光刻机采用的是深紫外光源，它的极限是量产28纳米中低端芯片。

据悉，2021年中国向ASML公司进口了81台DUV光刻机，销售额超过20亿欧元，约占其总销售额的16%。丢了中国市场，对荷兰ASML公司的未来也会造成严重影响。

荷兰ASML在出售EUV光刻机方面之所以屈从于美国的压力，是因为虽其最尖端的EUV光刻机的核心光源技术来自于美国Cymer公司，中文名为西盟半导体设备有限公司。

其DUV技术没有使用美国的。

（责任编辑：韩丽）