e公司讯,上海新阳在互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。
分享快讯到朋友圈
领取专属 10元无门槛券
私享最新 技术干货