京仪装备首台 12 吋双臂晶圆倒片机研发成功

IT之家12月9日消息 京仪装备宣布，近日，在晶圆倒片机的研发上，京仪装备又实现了重大突破，自主研发出高速集成电路制造晶圆倒片机（12 吋双臂晶圆倒片机），同时通过了北京市首台（套）重大技术装备评定。

IT之家获悉，晶圆倒片机在集成电路制造业应用广泛，随着生产线自动化水平的提高，高效率、高可靠性、高洁净度、高适配性及易维护性一直是其发展方向，晶圆倒片机在生产线上的应用越来越多，市场需求量越来越大。

▲技术人员在组装晶圆倒片机

京仪装备表示，对晶圆倒片机的整机研发属国内首例，其关键零部件 ——机械手，具备完整自主知识产权。该产品成功实现每小时 300 片以上的倒片速度，技术指标达到国际先进水平。